vibration isolation platforms, tables & systems | minus k … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙...

24

Upload: others

Post on 01-Oct-2020

4 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

Page 1: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

��

� ������������

����������� �����������������������

����������

��������������������������������

Page 2: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

� ��#��� ��������� ��"����� ���"������������$������� ���%�� ���������� �"�

"�������������� ��������������� �� ����#����������������������&!�������'����

��� ����(����������� ���"������������%�"��������#������ �������"������������ ��

��� �� �����

Page 3: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

���

����������

��� ����� � � � � � � � � � �������

�������)���*****************************����

�� +� ��� �������� ���

�� ' � ��'��+��� �������

��� ��������,��-���"��***********************��****�./�

�� +�����0��������

�� �������,�� �"�1��������� �- ��� "�

�� 2���� �����##�����"$��������

��� ������3�� ����� �"�����������"���#��������� ������**************4.�5�

�� 6� �"� ����"$�������

�� 3����� �����"����� �#�

�� 3����� ��- """��������

�� 3����� ����7"�� �#�

�� 3����� ��1���������������

�� 3����� ��& �� �"���"�80�������� �#��������

�� 3����� ��� ����

�� 3����� ��� � " ��8��������

�� 3����� ��9 ������� �#�

��� �����+������ ������***************************����:�

�� �������;��+ ��<����=���>��� �?��

�� �������;��+ ��>��� �?�)���<����=������� ���

��� �����

�������******************************�����

�� :�1��2�)&�-@�=8����� �����+ ��< �� �����

Page 4: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

����

����� ������������ ������������:�1�������2�� ��������� �����<��A�� ����******��*******����

��������1� ��� ��@!����������9�� ���"$������*************����B�

������ �9�� ���"$��������� �A� �"�2���� ��@!����"�� ���**********�/�

�����B��:�1��6� �"� ���9�� ���"$������**��***************�4��

�����(��3����� �����"����� �#�������� ����******************�����

�����/��3����� ��- """��������������� ����*****************����

�����4��3����� ����7"�� �#�������*******************���5�

��������3����� ��1���������������������*****************���:�

������ ��3����� ��@�'�1���������������������**************������

�����5��3����� ��& �������"�80�������� �#�������***********�������

�����5 �3����� ��& ��<���� �#�������*****************����

�����5�3����� ��& ��<���� �#�������*****************��B�

�����:��3����� ��� �������,�� �"�,�*******************��(�

��������� � " ��8������������ �� ����******�*************��4�

��������� � " ��8�������*********��**************������

��������3����� ��9 ������� �#*******��**************����5�

Page 5: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

��� ��������� ������ ��� ����� ��� �����C��+ �2�)&�-@�=8D1������1�"��1��4�2�� ��������� �����

<��A�� ��������� !����� �"� ����$�������"����"����������������������� �"�

1�������+� ��������������#���� ���� ����#������.#��������!��������%����"��!��

��������!�� ��������� �������#��� ���#��� ��� "�� ����#��� �� ��0� ����� ���� ����

�"����"������� ����� �������

� + �2�)&�-@�=8D1������1�"��1��4�<��A�� ����������E�� �� ������ ��.

�� ��� ��1�������+� ��������� ��!.���##����!�� ��������� �������������+ ��� "�

� ���F% �� ������� ���� "0� ��#���������� ��� �"��"������E�����������G�#���� �

1�"���1��4� ��� �"���%;�

! ��� � ���"����#�����������$�� �%�1��4��� �5������������

1��4��� �:�����B������

1��4�B� B4�����/�/����

1��4�(� /������45�����

��

� �����"��������#�����#���#���������2�)&�-@�=8D1������1�"��1��4�

+ ���%������������#����%�� � �������.�.��������������������� ���� �� ���

�&������������� ��� ="�+� ��� �������� ��H����������#������ �>+����� ������?���������#�� ���

1 �� �����#���������������������� ��� ��� ������������ ##� ����������������������%����

��� "���� ��%�� ���0����������I������� ������ ��F4��G�/��.5����������J�F4��G�/��.

4B�B����8� ���A�����������������

'�(������� ��&������ ��� < �������2�)&�-@�=8D1������1��4JJ�+ �� ���!�������������� �#�����

#��� ���" � ��"������ ����������#��=K�'�1�68����'8+8�+8'��=3+��K�+98�

�9�--�=6���&&�8&��118'��+8@K�����28��@@�-����=6�1�+8&��@���

Page 6: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

��� ���� ����)���� ������ ���*���(��� ��� + �#����%����0������� �"������� ��������""���������������1��4������

2�� ��������� ����������;�

�� 9�"� �������#�����"!���

�� � �����L���!��

�� ���%"��!��

�� BD�4?� 7�A��

�� �"$��� �����M?����.�"�%��� ��

�� ���A��#��� �N?� 7�����F#���!���� �����##���� "$���������#��""G�

&#������������F1��4���� �%�G�#������������ �"�� ������ ������#�� �1��4�

<��A�� �����������1��4������2�� ��������� �����+ ��� ����������� ����"� �"�

���"� ��� �# ���������������� �������%�� �� �7��������#������� ���������� � ��

6� �"� ������ � " ��8�������� �"��"$��� ��� �#��

�+��,�-��!./01-��������$���� ���� ���� ��2 �3����� �,�

Page 7: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

B

�������)������! ��������&����� �� ����� � �#��������!� ���� �������� ��� ��F�� ����� �������� �"� �"�����G���""����� ��

� ������� � �������� ��6� �"� ������ � " ��8�������� �"��"$��� ��� �#� !���

� �A"��� � ��������"�� �� ����������� ��������� ��� ���� ��"�#���� ���

���� �� ������

��� &��!�� ��������!�%��"����A��#����� ��������#� � �����+ �1� ��� ��

@!�������� ��#�������� ��"�#���� ���������&�� �� � �#����

�3,=+8&�@3��<��8�F��������G����� ��� ��7��"�M�����?���%��������#�

� �����

B�� � �#�������!�� ������ �"����#�� ����� �������#�� � �A��#�� �� ���������

��������"� � ������ �% ������������� !����� � ������� ����������� �� � ����

�#�� �� �������� ��6� �"� ��F�G��

(�� &��!�� ��%���"���������� ������ �"� ��� �����������������#������� ������� �

+ ������'3�=3+�&81328�+98�'�1-�=6�-�'��&31�+98��,--3&+�

-@�+8��'3�=3+�&81328�+98�-&3+8�+�28�-@��+����328&�3���+98�

'�1-�=6�-�'��

/�� + �+ �����%�� ���!� �� ��"�"�����"����������#� � �"� �������#�����"!������������""�#����������� �� ������)�������� ���� ���� �����"����#�+ �����%�� �

� �"����#�@��� �"�#�����%�������������� �' ������- "��-������������������#�

� �+ �������������� ���#���� ����������%��A��

�+��,�/�!&�������4�����+ ��5��&����6���(���

��

Page 8: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

(

4�� �#���� �� �������!"��������#�� ��"���� �������� �� �� �����L���!��"� ��� ����

������� �+ ������������ �����.����!������� �+ ��������� �A�#����!��

���"��������� ���"�����������#� �����.�#.�!�����"���������"���"�� "$����� �@!�����

�������������� �� �����"�������%"��!��F ��� �%�����������G������� � ������� �

��"��#�� �@!������������@��A����#����� ����������� ��� ��!�����#����

�@3��<��8����� ������ ���� �"���%��� �+ ������&�� ��� �#����

�3,=+8&�@3��<��8�������� ����� �"�� ���+ �������#����!������ �

� ������������ �� ���� �#�����!�����#�� ��������� ���%�� �� �#�������#� ���� ��

������!"����� ��� ��!�����#��������������A%������������ �� �� ��� �%�����

��������� �A�� �� ������!�� �"��� ���#����� ����

��� � �#������� ��� �� ��� "�F �"� �� ���%�� ���#��""G����� �+ ����� �"����������������� ��� �+ �������������� ����7�� �����!���2��� ����� �A�� �� ��

�%��� ��������#�� �+ ����� �"�� ������ �"� �"������� ��������

����7�� �������#������"$�������� ���� ������.�#.� ����������������� ������

F ���E��� ������ �G��#�� �+ ����������� ��#���� ����������%��A�##���������

5�� ����1��4������� ����. ����"� �"����"�#���� �"�� � ������� "����������� ���������

+ ���� ������������� �� �� "������ ""� �"�O#�� �"L� ��� �"������ ���� "� �"�

"$��������� "����#�� ��� �� �����% ��������� ��� � ������� ��� ��� "�F� �"�

� � �����P�� �����%�� �G��,������ ������ �� ��� "����� ������� �������%����

���� ��� ����#�� �� �"�!���� �������������"�� ����%���������"����� � ���E��� ��

������#��������� ��� ��� "�F0�������Q�� �����%�� �G����"�##����#����� �"��� "�

� � ������������ ��� "� "$��������� �A�����A%����������������A%���������� �

� ��� "� �"�+ ��������>#�� ����?�!���� ���� �"�� ������#�� �!���� �����������

��"�� ������� ����7�� ��������"����� � ���E��� ��������#�� �� ��� "��������

����"��� �������� ����������#��!�� �"������������� ���E��� �� ��������%�� �

� �� ������� ���� �������������� �� ��� "�F �"D��� �� ���%�� �G���������"����

� �� ����������� � �� ��4 �����(��7�������&�� �����6���(������3� ����� 38���8&���&������� ���������$� 8��&����7����� ���� ����� 38���8&���������$ 4��&����,��4��� ���&�� ��9��6���(������3�����&��� ����������(��,��

:�� '��"�������� �� ��� "�%�� �������� �� !���������� ��� �A� �� ���������#�

������#���� �� ����������>#�� �?��3���#�� ������� ��� �A� "$����������

������!� �"��"����������"������ �#%����������� ��������%��� �� ��������� �

���� �"��������"����������#�� �!���� �������������"�� ��������� ���� �"���"������� ��

�� �� �!������%�� ��������2���� �����##���� �"���0������"$����������%���

����K����1��4������2�� ��������� �����<��A�� ����������%�� "��#������ ������

��

Page 9: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

/

�+���/�,�5��&����6���(�������3������������� ���� �������� ��

����������������������+�*������6���(��� ��+ �2���� �����##�����"$�������� �����"���� ����� �!���� �����##���� �"��

� �#����� �!���� ��� ��� ��#�0������#�� �������� �� ��� �� ��� "$������������"���

�0���"������A%������ ������"����� �� ��� ��#�0������������.����A%������ �����

���� ���� �� ��� ��#�0������+ ������ �������!� "$��������+ �!���� �����##����

"$����������%�� ���"����� �"���������� ����#���� �A����� �#�0�������#�� �

!���� ���� "� "$������������ ����% ��� ���"�� �����������A� �!�� ����������%�� �

������ ��� �����"�� ���� ������������ ��� ��!����##�����+����� �!���� �����##����

"$����������%�����������A%�������� �#%�"�����+ ��� "$����� �!���� ��

�����������&� �� ������ ���������� ���"�� ����� �������"����� ������

��5 ��: �����+�*������6���(��� ��

+ � ���E��� ��� ��� ��#�0������ ��������� ��"���������!"���! ������� �

� ��� "�%�� ������� ������ �%�� ����%���� �#�0������"�� ������ �%�� ��

���� �������

������

Page 10: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

4

��� ������������� ���������)���� ����� ������ ������(� ��

;�����������6���(�� �

��

+��,�<��!./0�;���������5��&����6���(��,��

��� + �6� �"� �������� �1��4���������� �����+ ��%��"����"���� ���%�� �

��� �������! ���� � �� ����� ������" ��#���"�##����+ ������ ��A������

3����� �����"����� �!��� �������#���"���+ �� ��#�����#�7"���� ���������� �

6� �"� �����������) ��� �� ���%�� ���� �������#��"�� ���� ����� �����#��� ��D ���

��� +�� "$����� �6� �"� ��� �� ���������� ��"$���������������� ���"���#�� �

6� �"� ��� �"�� ��������%��� �6� �"� ���!����F ��� �%����������BG������������

���� ���#���� �#����� �"�� ��6� �"� �������� ��� �� �� �� ���7����% ����"�

%�� � �������� �����"����� �#��<�� � ����"����� �#��� �6� �"� ��������� "$���"����

���%� ����������#�R���� ��� � ����%��� ����������# ���#�� �� �#� �"�� �

+������# ���#�� �+ �����F ��� �%����������(G��

Page 11: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

���� �������������&�� ��

��

+��,�=����������&������������� ���

��� + ������� �����"����� �#�� �����"�"����"�##����%�"� ��������!�"�� ���� ����%�� ����� ����# �� � ��""�#���0��������������� �"��

��� + �6� �"� ��� �� �������� "$���"� ����!�������"������"���� ���%�#���� �� �#�

���� �!���

B�� + ����"����� �#����� �!���������"���������� �#����� �"� �A��� �"� ����F������(�

��� �%�G���+ ��� ��� ������"������ ������������"���"��

������ ������������(��� ����� + ������� �� "$��� ��� """�������������"�"����� �����

��

+��,�>���6����$����������(�"������������� �,��

��� +������ ���� � "$��� ��� """� ���������������"���������� ��� �"� ���F ��� �%��

�����/G���+ ��� ��� ������"������ ������������"���"��

Page 12: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

5

���� ����+�����&�� ���

��

+��,�0����� ����+�����&������($��,���

,�� �A� �"��� ��� ���7"�� �#����� �������@���� �"�� ��F&#����������4G����

��� �"$������������������� ��������%��������� ���%�� �� �#��������# ����

��� +�� ��"�%��� �����%�� ������������� "$��������

Page 13: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

:

���� ����! ��� ������ �� ��� + �#����%�����������������7�� ��� �%�������� ���� ������� ��1���������������

������F&#�����������G��

�+��,�?����� ����! ��� ������ ��,�

��

��� )����������2�)&�-@�=8D1�=,���1�"��1��4�+ ������8+�,-� ��"����"�

���� ���!�������������#�� ���1 �� ���

��� + �1������������������� ���"����� ����. ������;��+ �1�������� �#�

��������� ��%�!���������� ���������� �"�� �2���� ����������) �� �������

B�� &��!�� ��%�����%�� �"�% � ���� ����!�"�� ���".# �������������� �������

� ������#�� ����� �"������ ���+��� �"�)�������� ������A������� ��������������� �

�%�� �����#�� ��%���� ������A��%�� �� �R.��,=�� ���������� �"�����������

�� ���������%��R.���7���/?�#� �� "����%��#���+����� ������A� �"�)������

�� ������A��

(�� 9��"�� �2���� ����������) ��#����������� �������������� ���%�� ���%�� �� � ���

���� �+����� ������A���)����� �2���� ����������) ��������� ��������� ��%��BD5�

����������A�% � ��� �"��%��BD5.�4�7���/�?� 7� "���������!�""��

Page 14: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

���

/�� -��������� ��%�!����������) ����������#�� �2���� ����������) ��� �"����%��������A%���������� �"���"� �� ������ � "��

4�� ���%�� �1�������� �#�������������� �� � ""����������#�� ��%�!����������

) ��������� �"���"� �� ������ � "��

��� +�� ����� ����A�����������!�����% ��"���!�����

5�� ���� �� "$���������#�� ���������� �#�� ���� "������ ������ ��%�!����������

������������� �1�����������������������

����� ������'�! ��� ������ ������($�� ��

+ �@�'����������������� ���������� ���"�����%��� ������ �@�'�����������������

�"�� ���������-���� �������&#������������S�B��#���!�������������������������� ������ �������������������� ����������������������� ���&#�����#������ �#������������ �@�'���������������������������������������

��� ��� � �� �@�'����������������� �A��� ������ ����������������������������#����R.

���J���/������ 7� "����%��%�� �% � �����#�� ������������ ��������� �� � "����

� ������ �� "������#������.B�����%��F���!�""G���������������� �������

��� ��� � �� �@�'��������������������� � �A��� ��������� �#����14J��������%��

��� �%������ �#������

�+�����?�,����� ������'�! ��� ������ ������($���

Page 15: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

���

����� ����"������������*���(����&������($�� ��� + �#����%�����������������7�� ��� �%�������� ���� �3����� ��& �� �"���"�

80�������� �#��������F&#����������5G�

��

+��,�@����� ����"������������*���(����&������($��,��

��� )����������2�)&�-@�=8D1�=,��1�"��1��4�+ ������8+�,-� ��"����"�

���� ���!��������������#�� ���1 �� ���

��� ,�� �A�� ���������-������� �#�� �A���� �"�� �� �#���

B�� ��� � �� ���������-��������� �+��� �"�)�������� ����������� �BD5.�4,=�7��/?�

����� 7� "�������F��3����� ��1��������������������!������ ��G��

(�� -��������� �� �#�)� �A������ ����������� �� �#�)� �A������������� � �!�� �"���"� �� ��#���� �� �#��

/�� -� �� �"������� �� �#����� �� �#�)� �A�����

4�� ������ �� �#�������� �������%����� �T57�/�?������%��"����%�������� ��������#�� �� �#�#����� ���"���"��#�� �� �#�)� �A���

��

Page 16: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

���

���� ����"���2����&������($����

&#������ �#����%����#������#���"� ���������� ������� �3����� ��& ��<���� �#�

F&<�G����

��� ��� � �� �& ��<���� �#���������& ������� ��� �"�� ����������� ���.B�7��/������"�

"����%�� �"�#���� �% � ��� ��� �%������ �#������

��� ,������ ����!�""�BD5.�4�J����/������"� "����%�� �� � �� �&<����������- "����

� ��������#�&<����������-������

B�� ������� �&<����������-��������� �&<����������& ����������� �R.��J���@�

7� "������ �"�R�����������A�% � ������!�""��'��������� ���� ����������

(�� ���"�� �& ��<���� �#��!��� �&<����������-����� �"�������"���"� ���� �% ��

"�%������ ���3������� ������������� ������ �&<����������-����#��� ������� ��

�� ��������� �&<����������& �����

/�� +�� ���� � 7� "�������� "� ����������#���������������������"$����#����%�������

�"���� ��������#������"������"��#��""��

4�� 3���� ������ ����� ��"�����"�� �& ��<���� �#��##��#�� �&<����������-������

��� � �� �&<����������!����� �#���������� ��� �%�� ��� ���#��"� �� ���

��� ���"�� �& ��<���� �#������� �&<����������-������

�+��,�@������ ����"���2����&������($��,�

Page 17: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

�B�

�+��,�@$����� ����"���2����&������($��,�

����� ���������� ����� �#����� �"�%�� �� �1��4���������� �����+ ���� �3����� ��� ������ ���

����#������� �� ���� ������ ��� ��� ������� ��"����1��4���������� �����

+ ��� �� "�����#��"��

��� �����"������������ �� ��������� ���� �� ��������� �����%����������������������

B�� �"$����� �1� ��� ��@!������������ �+ ������ ��� ��7��"�"�%��#����� �

�������� ����7�� ��������� ��

Page 18: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

�(�

��

+��,�A����� �������������)������)�,��

(�� K��� ����%�� "����� �� � �� �� �������� ���������+ �� ����� ��� �� � "������ ���#����������"������ ��������

/�� -� ��� �� ���� ������������ �������������#�� �����"���������"� �"����"�� �

� ���� ����������� A��������� � ��A� ����������� � �A��#�� �� ����

������������� �����"��#�� ��������

4�� +�� ���� ��%��F�G�����������"�������%����� � �� �������������+ ��%����

��"�� �� ���������������� ��% ��� �� �������������

��� +�����!�� �� �������������!���� ���!���������"�����

5�� 8�� ������ �� ����� ���"�������������� �������������#�� �� �����������

����A%���������� �� ������ ����� ���E��� ������ � ����%�� �� �#������+ ��!�����

#�������� ����� ���"�������#������� � �������""��� ���� ���"������ ������

� �@!���������������� ��������

:�� @�%�� ���#����� ����� �"�� ����������� "���������!"���������������""����

!� ��� ���R���� ��� � ����%��� �@!���������� �"�� �#������

����3���� �����������������"���"���� ��������� ���� �� ��������!������� ���!�����

����� �"��!�"�� �������������������������""����#�� ��� �������% ���� �

� ����������������� ���������

Page 19: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

�/�

���� ����+���������� ��� ��

+ �#����%�����������������7�� ��� �%�������� ���� �� � " ��8�����������1��4�

�����2�� ��������� ������ ���&#������ � ������"� %�����������������

&0���"�1 ��� ��;�

�� ����"��������

�� ��&�����% ��������������

�� ��+���������

�� ��& ���������������

�� ��+���&�� ��7���������

�� ��+���@#��87���������

�� ��)������&�� ��87���������

�� ��)������@#��87���������

�� ����"�& ������������

�� ��6� �"�& �����������

&0���"�+����;�

�� ���%"��!����� /DB�������<��� ���� � �����L���!��

�� ��� ����� ��������������� ��� "���� �� ����� ������D�������

��� ��� � �� ���� ����"�����7�������� �"��#����"�����7������������ �� �� ������������� �

������ # ������� ������ �D(.��� ,=�� ���A�� "�� %�� � ����� ���� ��� �#�� �"� ��� �� � ��

!���� ��7��������� �"���� ��������%�� ������<��� ��

B�� ���"� ���� ����� ��� �%�� � � �#�� �"� ��� �� ���� ���E��� �� 7����������+ � ����� � ���"�

�������� ��� � ��"��#�� � �#�� �"���� ��7��������� ����R?��9 ���������#�����������

�� ���#����� ��������� �#�������������� ����" � ��� �������

(�� ��� � � � � ������ &���.,�� ����� ������� ��� � � �#�� �"� ��� �� ���E��� �� 7��������� � �

� ��% �� � �� � � & �� - ���% ��� + � 7���"�R?� �#� ���� ����� #���� � � ��!����� ����

� ���"�#��������������� �+.������#�� ����� ���E��� ��7������������ �������&���.,�������

��������

/�� ��� � ���������� � � ���� ����� � ���"� � ���%"� ������� ������� ���%�� ��� #���� �����

7����������@ ��� ��%���#���"� ����������"."�%���������������� �#� �����# ���

4�� ���"� ���"����������%��� ��%����� ����"�!���� ��7���������F�� ���"�������� ���"�

�� �� ����EG���� ���� ����� ������"�%�% �"�#�������#����� ����+ �������#�� ��

��������� ��� ���"�� ����M?���%�� ��"��#�� �!���� ��7����������

Page 20: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

�4�

��

��� ��� � � � � ��� �� ��"� ������ 7�������� �� �� ����� ��� ��� �%�� � � �%�� ��� �� !���� ��

7����������+ �+.����� ����� � ���������7�������� � ���"� #��� �������!�� � ��������#� � �

������ �#� ���� ���� ���� � � ������ 7�������� �� �� ������ ��% �"� � � � �� � ��� �"�

��!���� ����� � � 7��������� 87��������%���� � ��� �� ��% �� � � �"� ���� �����%�� � � �

� ���� � �����#�� �!���� ��7���������

5�� +�� ���������# ������������ ����"�������7���������

:�� ������� ��#����"�� ���������� ���� �"��� �"�#������ ����"�� ���F�����/�S�4G��

���� ������� ��#����"�������7��������������� ���� �"� ���� �"�#������ ��������7��������

F�������S�5G�

��

����@!�� �����1��4� ������ �� �� ����� � ��� �!�� "� ��� ���� ������ � � �� �"� � ���� �"�

"$�������� ��!�����#������������������!���

����-� ��� �# � " ���������������� �#����� �"�� �� ���������������

�B��� ����� �# � " �������������� � �������������#����� �������������� ����%�����!�""��

F����������.�G��

�(�������� �"����������. % ��"����������#��������� �"���"���������F�����������.�� �"�).)G��

�/��&!���"�����������"�� �����

Page 21: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

���

�+�����--,�+���������� ���,�

Page 22: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

�5�

���� ����&��������&�� ��

��� ��������6������ ���� ��� �#��������������7�������# � " �������������������"��������U"� � ����F/��� ��G����# � " �����������

��� �������� ���� ��� �#����# � " ����������������T��J�/��� �� "�� ���� ��

���%����!�""��

B�� � ����� � ���������������� ���������� ���� ���������D(.��,=��J���/?�#� �� "�

���%� �"�#���� �% � ����

(�� 9��"�������� �� �"� �� � �� ��6������ ���� �� ������� �#�������� ���D(.��,=��J���/���� ��� ��9 "����%�� �"������ �< � ����

��

+��,�-/����� ����&��������&��,��������������

Page 23: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

�:�

��� �������� �$���& ���� ��� + ���������#�� ���������������� �"�� ��������� �"� ������� �"��� ����#� ���

�������������� ��� �����������#������"�##����������������� ����������������������L��

�� ��� ������������ ##�#��� ����� ����

���(�� ( ����$�� ��2����� ��B+� ��C�

�� $�$�������� " ((����� ���� ���

,���� �������"����������������

�"$����2���� ���������������������� �

@� "��"$��������� �A�

�������"��� "����� !��

�&"����� "����������� � �����

�������"��� "���!��

�&"���������� "�!����

+������ ��� ��!����##����

+����� �!���� �����##���� "$����������%�

����������A%�������� �#%�"����

��(�� ( ���$�� ��B+� ���C�$���8����� ���� �����

�� $�$��������� " ((����� ���� ��

&������%��+ ����� �"�������

���������&���������+ �����

��������$����%��+ ����� �"�

���������������

&��!�#�������$���

Page 24: Vibration Isolation Platforms, Tables & Systems | Minus K … · 2020. 7. 7. · ˘ˇ ˆˇ ˙ ˝ ˛˚˚ ˜ ˇ ˇ ! "˝ ˇ˚ ˝˜ ˜ ˚ ˇc+ 2˙)&˛-@˛=8d1 ˇ 1" ˚1 42 ˙ˇ˚ < aˇ

���������� ��������������������������������

������� ������!"��

���

2���������

� 80�������� ��# ����"������������������������F���G����% �� ��"� � �����

"#���!�%��A� �� ��� �"�� ��� ���#������F�G�� ��#����" ���#�"��!�����'#���!�

� ��� ����������%�������� �"� ������ �����+ ���% �� ����"������������"�� ������

���!� �"����� ���� �� ��� ������������0���������1 ��� �������"���"��< �� ����

%��������� ����"�%�� ����� ������� ����! �� �"� ����������#� �&�������� ���E �����

=������������������������������ ���"����� ��-�� �"����������� �� ���E��

�� �%��������� ������� ����% �����������������1��������� ��F����AG������%����

#����� �� ������������"����� ���� ���#�� �����#�����%���� �������������

��